Plasmareinigungsmaschine der Serie VP-60.80

产品特点:

Die Vakuumkammer besteht aus einer Aluminiumlegierung.

Ultra-niedrige Temperatur: Die Temperatur beträgt nur 40 Grad

Rundum-Oberflächenreinigung: Anisotropes Plasma kann in die Feinstspaltreinigung eintreten

Umweltschutz: Vor und nach der Behandlung werden keine schädlichen Substanzen erzeugt und der menschliche Körper wird nicht durch schädliche Lösungsmittel geschädigt

Stabilität: Kontinuität und Konstanz zur Aufrechterhaltung der Stabilität von Maschinen und Anlagen während des Betriebs

Reinigung: Entfernung von Staub und Öl, Feinreinigung und antistatisch

Aktivierung: verbessert die Haftung der Oberfläche, die Oberflächenenergie des Objekts wird stark erhöht

Verblassen: AF/AS-Ebene verblasst

技术规格:

Funktionskonfiguration	technische Parameter
Modell	VP-60L	VP-80L	VP-100L	VP-150L
Maße (mm)	L=1200 W=920 H=1690
Innengröße der Vakuumkammer (mm)	L=403 W=400 H=403	L=450 W=400 H=450	L=470 W=460 H=470	L=500 W=600 H=500
Vakuumkammermaterial	Rostfreier Stahl
Elektrodenplattengröße (mm)	319（L）×374（W）	320（L）×420（W）	380（L）×440（W）	520（L）×470（W）
Elektrodenplattenmaterial	Spezielle Aluminiumelektrode
Last	560KG	580KG	630KG	680KG
Steuerung	PLC+ Touchscreen
Elektrodenplattenstruktur	Ebene 8 Etagen
Vakuumpumpensystem	Zweistufige Öl-Drehschieber-Vakuumpumpe, Roots-Vakuumpumpenset
Vakuummesssystem	Pirani-Widerstands-Vakuummeter
Gasmesssystem	Hochpräziser Massendurchflussmesser
Plasmagenerator	Hochpräziser 0-500W Plasmagenerator			Hochpräziser 0-1000W Plasmagenerator
Plasmamatcher	Hochpräziser 0-500W automatischer Matcher			Hochpräziser 0-1000W automatischer Matcher
Arbeitsvakuum	10-100 Pa
Enddruck der Vakuumpumpe	5×10-1 Pa
Vakuumzeit	≤ 55S	≤ 70S	≤ 80S	≤ 100S
Vakuum-Bruchzeit	≤ 15S	≤ 20S	≤ 25S	≤ 30S
Gasregelbereich	Massendurchfluss 0-300SCCM (optional)			Massendurchfluss 0-500SCCM (optional)
HF-Netzteil	0-500W (innerhalb des Bereichs einstellbar)			0-1000W(Einstellbar innerhalb des Bereichs)
Betriebsmodus	Manuelles Pick-and-Place, automatische Ein-Tasten-Bedienung
Energieversorgung	Drei Phasen 380V
Totale Kraft	4 KW			4.5 KW