概述

　　等離子體是物質的一種存在狀態，通常物質以固態、液態、氣態三種狀態存在，但在一些特殊的情況下有第四種狀態存在，如地球大氣中電離層中的物質。等離子體狀態中存在下列物質：處於高速運動狀態的電子；處於激活狀態的中性原子、分子、原子團（自由基）；離子化的原子、分子；未反應的分子、原子等，但物質在總體上仍保持電中性狀態。在真空腔體裡，注入介質氣體、通過射頻電源起輝產生高能量的等離子體。等離子體轟擊被清洗物表面，與有機污染物發生化學及物理作用，形成揮發性化合物，隨工作氣體排出，達到清洗的目的。

　　原理

　　等離子清洗是利用等離子體內的各種具有高能量的物質的活化作用，將附著在物體表面的污垢徹底剝離去除。

　　下面以氧氣等離子體去除物體表面油脂污垢為例，說明這些作用。從分析可以看出，等離子體對油脂污垢的作用，類似於使油脂污垢發生燃燒反應；但不同之處是其在低溫情況下發生的“燃燒”。

　　其基本原理：在氧氣等離子體中的氧原子自由基、激發態的氧氣分子、電子以及紫外線的共同作用下，油脂分子最終被氧化成水和二氧化碳分子，並從物體表面被清除。從以上可以看出，用等離子體清除油污的過程可使有機大分子逐步降解的過程，最終形成的是水和二氧化碳等小分子，這些小分子以氣態形式被排除。等離子清洗的另一個特點是在清洗完成之後物體已被徹底乾燥。經過等離子體處理的物體表面往往形成許多新的活性基因，使物體表面發生“活化”而改變性能，可以大大改善物體表面的潤濕性能和黏著性能，這對許多材料是非常重要的。因此，等離子清洗具有許多溶劑進行的濕法清洗所無法比擬的特點。

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